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無塵室的等級有哪些?
來源:http://www.time999.net/news873704.html 更新時間:2022-9-30 17:04:00
無塵室的等級要求及等級劃分:
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別,無塵室吸塵器每個立方米內含的灰塵粒子越少表示無塵室等級越高。
無塵室等級從高到低可劃分為:百級,千級,萬級,十萬級。
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